Institut des
NanoSciences de Paris
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Enseignement

Responsable : Laurent Belliard


Initiation aux différentes technologies afférentes à la structuration de la matière en salle blanche :

Effets des paramètres de rotation lors de l’enrésinement des substrats, des paramètres d’insolation UV, du développement des résines positives ou négatives, gravure chimique, gravure anisotrope du silicium, processus de lift-off, dépôt de couches minces, techniques de caractérisation.

Enseignement sous la forme de mini projets :

L’objectif est de mettre à profit les procédés de lithographie afin de réaliser des systèmes présentant des fonctionnalités qui auront été introduites dans le cadre de cours plus académiques. L’ouverture vers de nombreuses formations de l’UPMC est en cours de développement (Masters Recherche et Professionnel, Stages) et devrait s’amplifier dans les années à venir.

Actuellement, deux travaux pratiques, allant de la conception à la caractérisation de dispositifs fonctionnels, sont dispensés dans la salle blanche de l’INSP :

Cellule en fonctionnement sous polarisations
  • Projet 1 : Réalisation d’une cellule simplifiée à cristaux liquides
    Gravure des électrodes en ITO, fabrication des couches d’ancrage et étude en polarisation de la réponse du cristal liquide, caractérisation du fonctionnement de la cellule.
Pointe AFM
  • Projet 2 : Réalisation d’une pointe de microscopie à force atomique
    Fabrication du support et du cantilever, réalisation de réseaux de micro-pointes, caractérisation du fonctionnement de la sonde locale.



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