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NanoSciences de Paris
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Equipement de la salle blanche

Tout le matériel nécessaire aux manipulations de base est présent sur place. De l’eau ultra-pure, ainsi que de nombreux acides, bases, solvants, résines, substrats et autres consommables sont disponibles. Cependant, pour toutes demandes particulières, merci de prendre contact auprès des responsables de la salle blanche.

Les principaux outils à disposition des utilisateurs sont les suivants :

  • Zone Dépôt
    © INSP - L. Becerra {JPEG} - four de recuit/oxydation (Carbolite BGHA12/300A)
    - 2 évaporateurs par effet Joule (Edwards Auto 306 et Leybold Univex 300)
    - 2 pulvérisateurs multi-cibles cathodiques magnétron (Alcatel)
    - sputtering (Biorad SC500)
    - plasma cleaner (Harrick Plasma PDC-002)
  • Zone Lithographie
    © INSP - L. Becerra {JPEG} - spin coater (Delta 80 Süss Microtec)
    - photolithographie à écriture directe par laser UV (DWL 66FS Heidelberg)
    - aligneur de masques (MJB3 Karl Süss)
    - système de lithographie électronique (Raith Elphy Quantum)
  • Zone Caractérisation
    © INSP - L. Becerra {JPEG} - MEB (Zeiss Supra 40)
    - microscope optique (Olympus BX51)
    - profilomètre mécanique (Dektak 150 Veeco)
    - Micro Diamond Scriber (OEG MR100)
    - 3 hottes de chimie pour gravures humides et manipulations diverses