Institut des
NanoSciences de Paris
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Couches nanométriques : formation, interfaces, défauts, équipement

Fours

Contact  : Isabelle Trimaille

 

Nos fours à effet joule en vide poussé (10-9 mbar) avec tubes en silice, servent à effectuer des recuits sous atmosphères statiques ultra-propres, permettant l’étude de la stabilité des défauts cristallins intrinsèques ou induits (par exemple par irradiation avec des électrons) en fonction de paramètres thermodynamiques (T, P, t), et la formation de couches ou interfaces ultra-minces (oxydes, oxy-nitrures, nitrures …) sur substrats.

Les fours sont spécialement étudiés pour la manipulation et la récupération de gaz marqués isotopiquement.

 

 

Caption : fours en vide secondaire (10-6 mbar) et en vide poussé. Il est possible d’atteindre des pressions de gaz de 1 à 100 mbar et des températures jusqu’à 1250°C.